潽拓——爱德华真空泵，分子泵

    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——爱德华真空泵，分子泵

Leybold TURBOVAC 361，

      我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。

TURBOVAC 361

抽速: 345 l / s (Nitrogen)

极限压强: < 1 x 10-10 mbar

高真空接口法兰: DN 100 CF

前级真空接口法兰: DN 25 ISO-KF

水冷

潽拓——{精}，分子泵

潽拓光电维修德国莱宝 LEYBOLD W 2200 iPL涡轮分子泵，广州潽拓


TURBOVAC MAGiNTEGRA系列 集成磁悬浮分子泵

      集成磁悬浮分子泵MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠性高，抽速大，适合大气载应用。

技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证：满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232，维护接口

- 可以安装其它接口：Profibus、RS

485 C，9针24 V SPS